CINmat – технология микроволнового отжига

 

Организация:

Организация: Национальный университет Чьяотун, кафедра электрофизики

www.nctu.edu.tw/en

Год выпуска:

2017

Разработчик:

Научно-исследовательский институт промышленных технологий,

Научно-исследовательские лаборатории систем механических и мехатронных систем,

National Nano Device Laboratories

 

Результатом совместной работы команд специалистов НИИ промышленных технологий и научно-исследовательской лаборатории механических и мехатронных систем стала разработка и внедрение новой технологии термического отжига. Этот технологический процесс оказывает существенное влияние на многие процедуры в промышленном производстве, в частности при изготовлении полупроводников.

В технологии микроволнового отжига (МВО) «CINmat» используется совершенно иной подход к термической обработке. Новая технология предоставляет уникальные функциональные возможности  для решения проблем, связанных с обычным высокочастотным магнетронным МВО. Микроволновый отжиг способен обеспечить ближнюю к резонансной частоте связь между атомами кремния и кремния или легирующей примеси и атомами кремния.

Источником микроволн для «CINmat» служит коммерческий магнетрон 2,45 ГГц, применение которого создает благоприятные рабочие условия для  отжига в системе, потому что величина 2,45 ГГц близка к уровню резонансных частот. Это в значительной степени оказывает помощь в стимулировании восстановления основной кремниевой решетки и в активации легирующей примеси.

При микроволновом отжиге большое количество энергии доставляется в целевую структуру истока/стока через резонанс атомов имплантата. Таким образом, отжиг трехмерной области источника/стока происходит одновременно. В «CINmat» величина термической проводимости не оказывает существенного влияния на технологический процесс. В связи с этим, исключена проблема вертикального профиля. При микроволновом  отжиге происходит процесс равномерного отжига всей глубины целевой области источника/стока.

Share
...
Back

Your cart

0

Корзина пуста.

Total
0.00$
Checkout
Empty

This is a unique website which will require a more modern browser to work!

Please upgrade today!